Ultrathin silicon oxide film on Si(100) fabricated by highly concentrated ozone at atmospheric pressure

K. Nakamura*, S. Ichimura, A. Kurokawa, K. Koike, G. Inoue, T. Fukuda

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フィンガープリント

「Ultrathin silicon oxide film on Si(100) fabricated by highly concentrated ozone at atmospheric pressure」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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