Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition

S. Takayanagi*, T. Yanagitani, M. Matsukawa

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フィンガープリント

「Unusual growth of polycrystalline oxide film induced by negative ion bombardment in the capacitively coupled plasma deposition」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

Physics & Astronomy