UV nanoimprint lithography and its application for nanodevices

Makoto Fukuhara, Hiroshi Ono, Tamano Hirasawa, Makoto Otaguchi, Nobuji Sakai, Jun Mizuno, Shuichi Shoji

研究成果: Article査読

10 被引用数 (Scopus)

フィンガープリント 「UV nanoimprint lithography and its application for nanodevices」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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