Vibrational spectroscopic study of the interface of SiO2/Si(100) fabricated by highly concentrated ozone: Direct evidence for less strained Si-O-Si bond angle

Ken Nakamura*, Shingo Ichimura

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フィンガープリント

「Vibrational spectroscopic study of the interface of SiO2/Si(100) fabricated by highly concentrated ozone: Direct evidence for less strained Si-O-Si bond angle」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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