X-ray photoelectron spectroscopy (Xps) analysis of oxide formation on silicon with high-purity ozone

Akira M. Kurokawa, Shingo M. Ichimura

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フィンガープリント

「X-ray photoelectron spectroscopy (Xps) analysis of oxide formation on silicon with high-purity ozone」の研究トピックを掘り下げます。これらがまとまってユニークなフィンガープリントを構成します。

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